كمادة أساسية في الصناعة الحديثة ، يستخدم الهدف الاخرق على نطاق واسع في مختلف مجالات التكنولوجيا الفائقة. تتمثل الوظيفة الرئيسية لهدف الاخرق في نقل الذرات المستهدفة إلى سطح الركيزة من خلال عملية الاخرق لتشكيل طبقة رقيقة. هذه الطبقة الرقيقة لها دور لا غنى عنه في تصنيع أشباه الموصلات ، والطلاء البصري ، والخلايا الشمسية ، والطلاء الزخرفي وغيرها من المجالات. مع التقدم المستمر للعلم والتكنولوجيا ، أصبحت متطلبات الأداء لأهداف الاخرق أعلى وأعلى ، ولم تعد أهداف الاخرق المعدنية التقليدية تلبي الطلب في بعض التطبيقات. في هذا الوقت ، ظهر هدف تخرق السيراميك الآلي إلى حيز الوجود.
مبدأ العمل من الآلاتأهداف الاخرق السيراميكيعتمد على عملية الاخرق ، وهي تقنية ترسيب البخار الفيزيائي (PVD). تبدأ عملية الاخرق في غرفة مفرغة حيث يتم تشكيل البلازما بين الهدف والركيزة بتطبيق جهد عالٍ. يتم تسريع الأيونات النشطة في البلازما بواسطة حقل كهربائي وضرب سطح الهدف ، مما يتسبب في إخراج الذرات أو الجزيئات من الهدف. تهاجر هذه الذرات أو الجزيئات التي طرقت في بيئة فراغية وترسب في النهاية على سطح الركيزة لتشكيل طبقة رقيقة موحدة.
هناك تفاعلات فيزيائية وكيميائية في هذه العملية. التصادم وانتقال الطاقة بين الأيونات النشطة والهدف هو التفاعل الفيزيائي ، وسوف تتفاعل الذرات المستهدفة وجزيئات الغاز في البلازما كيميائيًا لتشكيل مركبات جديدة. يمكن تشكيل عملية الاخرق في مزيج من هذين التفاعلين على سطح الركيزة مع خصائص فيزيائية وكيميائية محددة للفيلم.
تتكون عملية التصنيع من عدة خطوات. الأول هو اختيار المواد الخام ، يتم إعداد مسحوق السيراميك عالي النقاء بواسطة التوليف الكيميائي أو الطرق الفيزيائية لضمان أن يكون نقائه وتوزيع حجم الجسيمات يفي بالمتطلبات. بمجرد اختيار المواد الخام ، تبدأ مرحلة الإعداد بخلط وطحن مساحيق المواد الخام للحصول على توزيع موحد للجسيمات وحجم جسيمات مناسب. عادة ما يتم ذلك باستخدام مطحنة الكرة أو معدات الطحن الأخرى لضمان توحيد المسحوق وقابليته للمعالجة. تأتي بعد ذلك عملية التشكيل ، إحدى الخطوات الرئيسية. تشمل طرق التشكيل الشائعة قولبة الضغط والقولبة بالحقن. تتضمن قولبة الضغط الضغط على مسحوق السيراميك تحت ضغط عالٍ لجعل الشكل المطلوب فارغًا ، بينما ينطوي القولبة بالحقن على خلط مسحوق السيراميك مع رابط وتشكيله من خلال قالب الحقن. كلا الأسلوبين لها مزاياها وعيوبها ، والاختيار يعتمد على متطلبات الشكل والأداء للمنتج. عملية التلبيد هي متكلس فارغ مصبوب في درجات حرارة عالية لجعلها كثيفة والحصول على الخصائص الميكانيكية والفيزيائية المطلوبة. التحكم في درجة حرارة التلبيد والوقت أمر بالغ الأهمية وعادة ما يتم تنفيذه في فرن درجة حرارة عالية لضمان تكثيف وتجانس مادة السيراميك. أخيرًا ، هناك مرحلة ما بعد المعالجة ، والتي تشمل المعالجة الميكانيكية والمعالجة السطحية. المعالجة الميكانيكية هي الآلات الدقيقة لهدف السيراميك المتكلس لتحقيق الحجم والشكل المطلوبين. المعالجة السطحية ، من ناحية أخرى ، هي تلميع وطلاء سطح الهدف لتحسين جودة سطحه وسهولة استخدامه.
EN
jp 
ko 
fr 
de 
es 
it 
ru 
pt 
ar 
tr 
